Образован 1778 г. в составе Костромского наместничества с центром в городе Буе, в ходе административной реформы Екатерины II. В 1796-1802 годах Кинешемский уезд после упразднения восстанавливается в составе Костромской губернии.
14 января 1929 года Костромская губерния и все её уезды были упразднены, большая часть Буйского уезда вошла в состав Буйского района Костромского округа Ивановской Промышленной области.