В 1913 году в состав уезда входила 61 волость:
Арамильская — с. Арамиль,
Аятская — с. Аятское,
Багарякская — с. Багарякское,
Белоярская — с. Белоярское,
Берёзовская — Березовский завод,
Билимбаевская — Билимбаевский завод,
Бобровская — с. Бобровское,
Бруснятская — с. Бруснятское,
Булзинская — с. Булзинское,
Быньговская — Быньговский завод,
Верх-Исетская — Верх-Исетский завод,
Верх-Нейвинская — Верх-Нейвинский завод,
Верхне-Тагильская — Верхне-Тагильский завод,
Верхне-Уфалейская — Верхне-Уфалейский завод,
Воскресенская — с. Воскресенское,
Глинская — с. Глинское,
Горнощитская — с. Горнощитское,
Гробовская — с. Гробово,
Карабольская — д. Караболка,
Каслинская — Каслинский завод,
Кисловская — с. Кисловское,
Конёвская — с. Коневское,
Кульмяковская — д. Кульмякова,
Куяшская — с. Куяш,
Кыштымская — Верхне-Кыштымский завод,
Ленёвская — с. Ленёвское,
Липовская — с. Липовское,
Логиновская — с. Логиновское,
Маминская — с. Маминское,
Мостовская — с. Мостовское,
Мраморская — Мраморский завод,
Невьянская — Невьянский завод,
Нейво-Рудянская — Нейво-Рудянский завод,
Нижне-Исетская — Нижне-Исетский завод,
Нижнесельская — с. Нижнее,
Нижне-Уфалейская — Нижне-Уфалейский завод,
Ново-Ипатовская — с. Ново-Ипатово,
Огневская — с. Огневское,
Покровская — с. Покровское,
Полдневская — с. Полдневское,
Полевская — Полевской завод,
Пышминская — Пышминский завод,
Ревдинская — Ревдинский завод,
Режевская — Режевской завод,
Рождественская — с. Кузнецкое,
Сарапульская — с. Сарапульское,
Саринская — д. Сары,
Северо-Коневская — с. Коневское
Северская — Северский завод,
Сысертская — Сысертский завод,
Таватуйская — д. Таватуй,
Тиминская — с. Тиминское,
Уткинская — Уткинский завод,
Хромцовская — с. Хромцовское,
Черданская — с. Черданское,
Черемисская — с. Черемисское,
Шайтанская — Шайтанский завод,
Шарташская — с. Шарташское,
Шуралинская — Шуралинский завод,
Щелкунская — с. Щелкун
Юшковская.
