В 1913 году уезд состоял из 18 волостей:
Алчедатская волость — с. Алчедат,
Боготольская волость — с. Боготол,
Больше-Барандатская волость — с. Больше-Барандатское,
Верхне-Чебулинская волость — с. Верх-Чебула,
Дмитриевская волость — с. Тисуль,
Златогорская волость — с. Златогорское,
Зырянская волость — с. Зырянское,
Итатская волость — с. Итат,
Кольсонская волость — с. Кольсон,
Красноречинская волость — с. Краснореченское,
Мало-Песчанская волость — с. Мало-Песчанское,
Почитанская волость — с. Почитанское,
Сусловская волость — с. Суслово,
Тундинская волость — с. Тунда,
Тюменевская волость — с. Тюменево,
Тюхтетская волость — с. Тюхтет,
Тяжино-Вершинская волость — с. Орешково,
Тамаринская волость.
В 1924 году уезд был разделён на 12 районов:
Боготольский,
Верх-Чебулинский,
Зырянский,
Ижморский,
Итатский,
Малопесчанский,
Мариинский,
Сусловский,
Тисульский,
Троицкий,
Тюхтетский
Тяжинский.
Более полный список волостей уезда в начале XX века
Уезд находился в составе Томской губернии в период с 1822 по 1925 гг.
- Алчедатская волость, центр — село Алчедат, Мариинский уезд (1885); Кузнецкий уезд (1917). Известно, что как минимум до 1913 года волость относилась к Мариинскому уезду
- Андреевская волость, Мариинский уезд (1917).
- Бараковская волость (писали также как Бароковская), Мариинский уезд (1911).
- Баракановская волость, Мариинский уезд (см. ежегодник «Памятная книжка по Томской губернии», 1912).
- Берчикульская волость, Мариинский уезд (1921).
- Боготольская волость, центр — посёлок-станция Боготол, Томский уезд (1890, 1899, 1913); Мариинский уезд (1920—1924). В 1924 будет передана Ачинскому уезду соседнейЕнисейской губернии; основа современного Ачинского района Красноярского края.
- Больше-Барандатская волость (Большебарандатская волость), центр — село Больше-Барандатское, Мариинский уезд (1899, 1913, 1917).
- Верхне-Чебулинская волость (другое написание наименования: Верхнечебулинская волость, Верх-Чебулинская волость или Верхчебулинская волость), центр — село Верхние Чебулы (c 1923 — Верх-Чебула), Мариинский уезд (1913, 1923).
- Дмитриевская волость (Димитревская волость, 1885), центр — село Тисуль, Мариинский уезд (1885, 1899, 1911, 1913, 1921).
- Тисульская укрупнённая волость (район), центр — село Тисуль, Мариинский уезд, (1923—1925).
- Дубровская волость, Мариинский уезд (1924).
- Златогорская волость (Золотогорская волость), Мариинский уезд (1897, 1911).
- Зырянская волость, центр — село Зырянское, Мариинский уезд (1899, 1911, 1913).
- Зырянская укрупнённая волость, центр — село Зырянское, Мариинский уезд (04.09.1924—09.12.1925):была образована из Зырянской, Дубровской, Чердатской, Туендатской (без одного населённого пункта), части Тутальско-Чулымской, двух населённых пунктов Колыонской волости и двух населённых пунктов Медодатской (остальная часть вошла в Томский уезд) волостей.
- Ижморская укрупнённая волость (район), центр — село Ижморское, Мариинский уезд, (1923—1925).
- Итатская волость, центр — село Итат[6], Мариинский уезд (1899, 1913, 1917, 1923).
- Козеюльская волость, (встречается написание как Козиюльская), центр — село Козеюльское, Мариинский уезд (1913).
- Колыванская волость, Мариинский уезд (1899): не путать с одноимёнными волостями Ново-Николаевского (ранее — Томского) и Бийского уездов губернии и с волостью с созвучным (Колывановская) наименованием — Колывановской волостью в Змеиногорском уезде.
- Кольсонская волость, центр — село Кольсон, Мариинский уезд (1913).
- Колыонская волость, центр — село Колыон, Мариинский уезд (1885, 1911, 1924).
- Корчуковская волость, Мариинский уезд (1917).
- Краснореченская волость, центр — село Краснореченское, Мариинский уезд (XVIII век, 1804, 1899, 1913, 1925). Несколько десятилетий XIX века (после 1822) относилась к Ачинскому уезду соседней Енисейской губернии.
- Куликовская волость, Мариинский уезд (1921).
- Мало-Песчанская волость (Малопесчанская волость), центр — село Малопесчанское, Мариинский уезд (1899, 1913, 1924).
- Мариинская укрупнённая волость (район), центр — город Мариинск, Мариинский уезд, (1923—1925).
- Медодатская волость, центр — село Медодат[7], Мариинский уезд (1921).
- Намбаровская волость, Мариинский уезд (1921)
- Ново-Берёзовская волость, Мариинский уезд (1917).
- Ново-Пазеровская волость (Новопазеровская волость), Мариинский уезд (1921).
- Ново-Петровская волость, Мариинский уезд (1914).
- Пажинская волость, Мариинский уезд (1914).
- Поваренкинская волость, центр — село Поваренкинское (Поваренкино), Мариинский уезд (1913).
- Почитанская волость, центр — село Почитанское, Мариинский уезд (1873, 1885, 1899, 1913).
- Рубинская волость, Мариинский уезд (1912).
- Рыбинская волость, Мариинский уезд (1914).
- Сусловская волость (одно время именовалась как Рубинская волость), центр — село Суслово, Мариинский уезд (1899, 1912, 1913, 1919, 1923).
- Т.-Вертинская волость, Мариинский уезд (1921).
- Тамаринская волость, центр — село Тамаринское, Мариинский уезд (1913).
- Тамбаровская волость, Мариинский уезд (1920).
- Тестяковская волость, Мариинский уезд (1921).
- Тисульская укрупнённая волость (район), центр — село Тисуль, Мариинский уезд, (1923—1925).
- Троицкая волость (Троицкая укрупнённая волость), Мариинский уезд (1923—1925): не путать с одноимённой волостью в Бийском уезде Томской губернии.
- Туендатская волость, центр — село Туендат, Мариинский уезд (1924).
- Тундинская волость, центр — село Тунда, Мариинский уезд (1899, 1913).
- Тутальско-Чулымская волость, Мариинский уезд (1917, 1924).
- Тюлиновская волость, Мариинский уезд (1921).
- Тюменевская волость, центр — село Тюменево, Мариинский уезд (1899, 1913, 1917).
- Тютенская волость, Мариинский уезд (1918).
- Тюхтетская волость, центр — село Тюхтет, Мариинский уезд (1913, 1923).
- Тяжиновершинская волость (пишут также: Тяжино-Вершинская волость, Тяженская волость, Тяжено-Вершининская волость), центр — село Орешково, Мариинский уезд(1913).
- Тяжинская волость, центр — село Тяжин, Мариинский уезд, (1912, 1917).
- Тяжинская укрупнённая волость (район), центр — село Тяжин, Мариинский уезд, (1920, 1923—1925).
- Усть-Кольбинская волость, Мариинский уезд (1921).
- Чердатская волость, центр — село Чердаты, Томский уезд (1917), затем — Мариинский уезд (1920).
- Черпашевская волость, Мариинский уезд (1921).
- Чумайская волость, Мариинский уезд (1921).
- Юрьевская волость, Мариинский уезд (1914).