В 1775 году в составе Якутской провинции было образовано Верхневилюйское комиссарство. В 1784 году Якутская провинция была преобразована в Якутскую область, а Вилюйское комиссарство при этом упразднено — на его территории был создан Оленский уезд, позднее преобразованный в комиссарство. В 1803 году вновь было создано Верхневилюйское комиссарство.
В 1822 году Вилюйское комиссарство было преобразовано в Вилюйский округ. В 1920 году Вилюйский округ был преобразован в Вилюйский уезд, а в 1926 году уезд вновь стал округом. В 1930 году все округа Якутской АССР были упразднены.
