Верхне-Вилюйский улус (13 наслегов. Центр — 2-й Удюгейский наслег)
Мархинский улус (17 наслегов. Центр — Тылыкинский наслег)
Средне-Вилюйский улус (14 наслегов. Центр — 3-й Тогуйский наслег)
Сунтарский улус (15 наслегов. Центр — Торбоховский наслег)
2 русских селения
В 1924 году в состав Вилюйского уезда входили:
Верхне-Вилюйский улус
Мархинский улус
Мастахский улус
Нюрьбинский улус
Средне-Вилюйский улус
Сунтарский улус
Удюгейский улус
Хочинский улус
Качайская волость
Сунтарский с/с